db电竞官网入口半导体装备推出应用于先进存储器的18腔单晶圆洗濯装备
2020-6-27 16:06:53
新型Ultra C VI系统充分使用db电竞官网入口已被验证的多腔体手艺，，，， ，，，为存储器制造商提高产能并降低本钱。。 。。。。
作为先进半导体器件的晶圆洗濯手艺领域中的卓越装备供应商，，，， ，，，db电竞官网入口半导体装备（NASDAQ:ACMR）克日宣布了Ultra C VI单晶圆洗濯装备，，，， ，，，这是Ultra C洗濯系列的最新产品。。 。。。。Ultra C VI旨在对动态随机存取存储器（DRAM）和3D NAND闪存晶圆举行高产能洗濯，，，， ，，，以实现缩短存储产品的生产周期。。 。。。。这款新产品以db电竞官网入口成熟的多腔体手艺为基础！� 。。。。�，， ，，，进一步扩展了洗濯装备产品线。。 。。。。Ultra C VI系统配备了18个单片洗濯腔体，，，， ，，，比照db电竞官网入口现有的12腔装备Ultra C V系统，，，， ，，，其腔体数及产能增添了50%，，，， ，，，而其装备宽度稳固只是在长度有少量增添。。 。。。。
“存储产品的重漂后一直提高，，，， ，，，但仍然对产量有严酷的要求。。 。。。。”db电竞官网入口董事长王晖博士体现：“当洗濯工艺的时间逐渐加长或最先接纳更重大的干燥手艺时，，，， ，，，增添洗濯腔体能有用解决产能问题，，，， ，，，让先进存储装置制造商坚持甚至缩短产品的生产周期。。 。。。。db电竞官网入口18腔洗濯装备将是解决这类问题的利器。。 。。。。Ultra C VI平衡了腔体数目设置，，，， ，，，在实现高产能（wafer-per-hour）的同时，，，， ，，，兼顾了与工厂自动化能力的匹配，，，， ，，，同时也能阻止因腔体数目过多而面临的装备宕机压力。。 。。。。”
洗濯历程中可使用多种化学组合，，，， ，，，包括标准洗濯（SC1，，，， ，，，SC2）、氢氟酸（HF）、臭氧去离子水（DI-O3）、稀硫酸双氧水混淆液（DSP，，，， ，，，DSP +）、有机溶剂或其他工艺化学品等。。 。。。。装备最多可对其中两种化学品举行接纳，，，， ，，，节约本钱。。 。。。。该装备还可以接纳可选的物理辅助洗濯要领，，，， ，，，例如二流体氮气雾化水洗濯或者db电竞官网入口自己研发的空间交变相位移（SAPS）和时序能激气穴震荡（TEBO）兆声洗濯手艺。。 。。。�？？？？？裳∨湟毂迹↖PA）干燥功效，，，， ，，，应用于具有高深宽比的图形片。。 。。。。别的，，，， ，，，由于该装备与db电竞官网入口现有装备的宽度一致，，，， ，，，因此有助于提高晶圆厂的空间使用率，，，， ，，，并进一步降低本钱。。 。。。。
db电竞官网入口妄想在2020年第三季度初期交付Ultra C VI给一家领先的存储制造厂举行评估和验证。。 。。。。
欢迎莅临db电竞官网入口位于SEMICON China 展位号E5223的展台，，，， ，，，咨询db电竞官网入口的整体洗濯解决计划，，，， ，，，包括公司最新的Ultra C VI系统。。 。。。。该展会将于2020年6月27日至29日在上海新国际博览中心举行。。 。。。。
