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2021-1-13 10:38:43
2021年1月8日，，，，，db电竞官网入口半导体首台应用于大功率半导体器件制造的新款12寸单晶圆薄片洗濯装备已通过厦门士兰集科量产要求，，，，，提前验收！该装备于2020年5月20日作为首批装备之一搬入工厂，，，，，从正式装机到应用于产品片生产，，，，，只用了18天的时间，，，，，原定一年的验证期仅用了6个月即顺遂完成验收！
装备搬入厦门士兰集科
db电竞官网入口新款12寸单晶圆薄片洗濯装备，，，，，是一款高产能的四腔系一切，，，，，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺，，，，，以消除晶圆应力、并举行外貌洗濯等 。 。 。。。 。。。该系统的传输及工艺模浚浚浚�？？？？槲」杵陌崴图肮ひ沾χ贸头Ｌ峁┝擞杏玫慕饩黾苹�，，，，，基于伯努利效应，，，，，该系统在传输与工艺中，，，，，与晶圆外貌完全无接触，，，，，消除由接触带来的机械损伤，，，，，提高器件的良率 。 。 。。。 。。。通过差别的设定，，，，，该系统可适用于Taiko片、超薄片、键合片、深沟槽片等差别厚度的晶圆；；； ；；通过接纳差别的化学药液组合，，，，，该系统可拓展应用于洗濯、光刻胶去除、薄膜去除和金属蚀刻等工艺 。 。 。。。 。。。
db电竞官网入口12寸单晶圆薄片洗濯装备
db电竞官网入口半导体12寸单晶圆薄片洗濯装备的快速投入量产使用并提前乐成验收是db电竞官网入口与海内量产客户团队的细密合作效果 。 。 。。。 。。。在本次验收历程中，，，，，海内量产客户团队对该装备给予了鼎力大举支持和资助，，，，，通过双方的配合起劲，，，，，最终装备的可靠性、稳固性及工艺能力在短时间内抵达验收标准 。 。 。。。 。。。作为db电竞官网入口半导体2020年推出的主要新产品之一，，，，，该装备的顺遂验收不但为两个团队积累了名贵履历，，，，，也对推动该装备在功率器件新兴市场的推广具有主要意义，，，，，更为以后db电竞官网入口洗濯装备手艺提升、营业拓展提供坚实包管 。 。 。。。 。。。
