db电竞官网入口半导体首台洗濯装备入驻芯物科技!
2021-6-15 14:23:23
2021年6月7日,,,,,上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺装备搬入仪式在新傲工厂举行,,,,,db电竞官网入口首台洗濯装备入驻芯物科技!
据国家智能传感器立异中心认真人在致辞时先容,,,,,12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台凌驾80%的装备均接纳国产装备,,,,,为国产装备提供验证平台,,,,,加速传感器工业链国产化,,,,,实现自主可控。。。。。。。。
王晖先生在致辞时说:“能够获得和芯物科技一起生长的时机,,,,,我代表db电竞官网入口向芯物科技体现衷心的谢谢!在这个充满时机与挑战的时代,,,,,期待未来和芯物科技一起,,,,,开发一些全球领先的差别化特色工艺和装备,,,,,把中国的MEMS做到天下前线!”
db电竞官网入口本次进驻芯物科技的装备为前道刷洗装备,,,,,该装备接纳单片腔体对晶圆正背面依工序洗濯,,,,,可举行包括晶圆背面刷洗、晶圆边沿刷洗、正背面二流体洗濯等洗濯工序。。。。。。。。装备占地面积小,,,,,产能高,,,,,稳固性强,,,,,多种洗濯方法无邪可选,,,,,且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。。。。。。。。