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db电竞官网入口上海推出全新升级版先进封装用涂胶装备,, ,,,,,,性能更卓越

2022-5-27 9:51:50

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    封装测试作为IC工业链主要一环,, ,,,,,,与芯片设计、制造并举,, ,,,,,,2021年全球封装市场规模约达777亿美元,, ,,,,,,并且先进封装市场将一连上扬,, ,,,,,,据Yole1统计,, ,,,,,,2021年先进封装市场规模为321亿美元,, ,,,,,,预期将以10%的年均复合增添率生长,, ,,,,,,至2027年可达572亿美元 。。。。。。。在摩尔定律趋近工艺极限之时,, ,,,,,,业界发明了先进封装的可能性,, ,,,,,,由平面化到三维架构,, ,,,,,,先进晶圆级封装对芯片性能的提升,, ,,,,,,给予了上下游工业更多的空间 。。。。。。。

    db电竞官网入口上海在该领域有多年履历,, ,,,,,,可成套定制、高端湿法晶圆工艺装备,, ,,,,,,以支持实现铜(Cu)柱和金(Au)凸块等先进晶圆级封装工艺,, ,,,,,,以及硅通孔(TSV)、扇出(Fan-out)及小芯片等工艺 。。。。。。。产品可笼罩完整的工艺流程,, ,,,,,,包括洗濯、涂胶、显影、电镀、平展化电抛光、光刻胶去除及湿法蚀刻等 。。。。。。。年头以来db电竞官网入口上海已多次收到先进封装洗濯装备的采购订单,, ,,,,,,及电镀装备的批量订单,, ,,,,,,最近又推出升级版的涂胶装备,, ,,,,,,该款装备在性能和外观举行了优化,, ,,,,,,应用于先进晶圆级封装 。。。。。。。

    该涂胶装备兼容200mm和300mm晶圆,, ,,,,,,可执行晶圆级封装光刻工艺的要害办法,, ,,,,,,如光刻胶和Polyimide涂布、软烤 ; ; ;;;;;;还可使用立异性要领和精准的涂胶控制,, ,,,,,,实现准确的阻挡边沿扫除效果 。。。。。。。涂胶腔内接纳了db电竞官网入口上海专有的全方位无死角自动洗濯手艺,, ,,,,,,可以缩短装备预防性维护(PM)的时间,, ,,,,,,尤其是针对光刻胶厚度较高(甚至凌驾 100µm)的涂胶应用 。。。。。。。

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(旧款机台尺寸:宽2550mm长2150mm 高2650mm,, ,,,,,,新款机台尺寸:宽2150mm长1800mm 高2650mm,, ,,,,,,占地面积镌汰30%)

    设计升级后的涂胶装备整体尺寸减小,, ,,,,,,内部空间更为紧凑,, ,,,,,,相比旧款机台,, ,,,,,,占地面积镌汰30%,, ,,,,,,高效使用厂房空间 。。。。。。。同时对称式漫衍的整体设计,, ,,,,,,Loadport改为双开门的设计,, ,,,,,,使装备更雅观 。。。。。。。该装备性能上也有所升级,, ,,,,,,可选配腔体自动洗濯功效,, ,,,,,,能够镌汰按期维修次数实时间,, ,,,,,,同时可提供无腔体自动洗濯功效的简化版供客户选择 。。。。。。。在腔体设计中,, ,,,,,,将两个单独腔体合二为一,, ,,,,,,使整体空间更为紧凑,, ,,,,,,同时接纳完全密封设计,, ,,,,,,可阻止工艺历程中使用的药液影响外部情形 。。。。。。。该装备8/12寸晶圆传输系统的自动识别设计,, ,,,,,,可阻止晶圆尺寸与腔体设置不符时造成碎片情形的爆发,, ,,,,,,有用镌汰因人为误操作造成的损失 。。。。。。。值得一提的是,, ,,,,,,该涂胶装备还升级了热板的结构,, ,,,,,,在腔体结构紧凑的条件下,, ,,,,,,新设计可实现热板抽屉式抽出,, ,,,,,,利便维修及替换,, ,,,,,,同时立异的定位设计可包管热板重复抽出后准确复位,, ,,,,,,有用包管工序运行 。。。。。。。

    继建设小芯片同盟后,, ,,,,,,英特尔、台积电和三星等芯片制造巨头加大结构先进封装领域 。。。。。。。海内封测厂商扩张先进封装产能,, ,,,,,,国产半导体装备历程加速,, ,,,,,,db电竞官网入口上海今年客户需求依然兴旺,, ,,,,,,公司订单坚持强劲,, ,,,,,,产能扩张妄想推进顺遂 。。。。。。。此次全新升级的涂胶装备自推出以来已获得差别客户的多台订单,, ,,,,,,有助于获得更多目的市场份额,, ,,,,,,增添了db电竞官网入口上海湿法成套装备的竞争力,, ,,,,,,为客户提供一站式服务 。。。。。。。



数据泉源:
1. www.eet-china.com/mp/a129819.html

 
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